GASS立式单腔双腔甩干机
日期:2021-10-12 11:32
品名:GASS立式单腔双腔甩干机
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详细介绍
GASS立式甩干机是高洁净度冲洗甩干设备, 具有高洁净冲洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换转子来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，设备本身有单腔室和双腔室2种结构，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的高洁净度冲洗及干燥工艺。GASS立式甩干机设备特点· 可以快速拆卸更换转子；· 采用直驱式高性能无刷电机；· 设备正常稳定工作时间≥95%，碎片率低于千分之一；· 颗粒度增加值 10 (0.3 micron)，甩干后表面无水渍、无污染物；· 整机采用进口PFA/PVDF/PTFE管件/喷嘴；· 气动控制部件采用进
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