GB28275硅基MEMS制造技术
日期:2020-04-24 15:30
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GB28275硅基MEMS制造技术 参考标准

GB/T 26111 微机电系统（MEMS）技术，术语
GB/T 1031产品几何技术规范（GPS），表面结构，轮廓法，表面粗糙度参数及其数值
GB 50073-2001 洁净厂房设计规范


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