PDMS:聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane) ,这是一种广泛应用于微流体等领域的聚合物材料。它成本低,使用简单,同硅片之间具有良好的粘附性,而且具有良好的化学惰性,因此常用于芯片封装等领域。
液态时的二甲基硅氧烷为一黏稠液体,称做硅油,是一种具有不同聚合度链状结构的有机硅氧烷混合物,其端基和侧基全为烃基(如甲基、乙基、苯基等)。一般的硅油为无色、无味、无毒、不易挥发的液体。
固态的二甲基硅氧烷为一种硅胶,无毒、疏水性(hydrophobic),惰性物质,且为非易燃性、透明弹性体。二甲基硅氧烷的制程简便且快速,材料成本远低于硅晶圆,且其透光性良好、生物相容性佳、易与多种材质室温接合、以及因为低杨氏模量(Young’s modulus)导致的结构高弹性(structural flexibility)等。