CCD系列电动超高真空插板阀
CCD系列电动超高真空插板阀是通过电动装置驱动阀杆带动阀板作上下运动,达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。
适用的工作介质为为纯净空气和非腐蚀性气体。
带反馈信号装置。
电动超高真空插板阀主要零件材料:
阀体、阀板:不锈钢。
密封件:氟橡胶、波纹管(轴封)、丁腈橡胶。
电动超高真空插板阀主要技术性能:
适用范围(Pa)
105~1.3×10-7Pa
阀门漏率(Pa.L/S)
≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200)
≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250)
适用温度(℃)
-30~+150℃
阀门开启时阀板两侧的压差Pa
≤2.7×103Pa.
电源V/Hz
220V/50Hz
控制电路
标准出厂:AC220V/50Hz开关型
特殊指定:AC380V;DC24V开关型
4~20mA DC调节型
信号反馈
标准出厂:带无源触点型
特殊指定:4~20mA DC调节型
电动超高真空插板阀外形及连接尺寸:
型号
DN
A
H
D
Do
D1
D2
D3
L
L1
G
E
n-d
法兰标准
CCD-50
50
60
92
89
72.4
61.6
55.6
515
153
220
124
8-M8
GB6071
CCD-63
63
65
105
114
92.1
82.6
76.6
566
180
220
124
8-M8
CCD-80
80
65
130
130
110
99
93
603
200
220
124
16-M8
CCD-100
100
70
152
152
130.2
120.7
114.7
653
267
220
124
16-M8
CCD-150
150
70
202
202
181
171.5
165.5
771
350
270
150
20-M8
CCD-200
200
80
251
253
231.8
222.3
216.6
889
424
270
150
24-M8
CCD-250
250
85
300
314
288
308
275
271
1127
574
350
200
24-M10
JB5278
CCD-300
300
85
352
365
338
353
323
318
1197
613
400
200
32-M10
CCD-320
320
85
372
385
357
379
344
340
1220
613
440
200
36-M10
JB5278
CCD-400
400
110
456
497
454
480
440
436
1480
810
536
200
36-M12
CCD-500
500
135
595
590
555
580
540
536
1580
870
640
220
40-M12
CCD-630
630
135
690
700
658
680
639
635
1730
960
780
220
40-M16
CCD-800
800
150
880
890
855
880
835
831
1960
1100
950
220
60-M16