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可量产功能性连续碳化硅自由薄膜的专利介绍

放大字体  缩小字体 发布日期:2011-07-14   来源:中国化工报   浏览次数:1206  分享到: 分享到腾讯微博
厦门大学材料学院日前突破了具有光电特性的连续碳化硅(SiC)自由薄膜关键技术。该技术已申报6项国家发明专利,并形成了连续SiC自由薄膜材料小批量生产能力。

日前,具有光电特性的连续碳化硅(SiC)自由薄膜关键技术被厦门大学材料学院突破了,制备出多种组分PCS先驱体,掌握了连续SiC自由薄膜不熔化交联预处理与高温裂解烧结的工艺。目前,该技术已申报6项国家发明专利,并形成了连续SiC自由薄膜材料小批量生产能力。

新型连续SiC自由薄膜是理想的新型宽带隙半导体材料,在微机电系统(MEMS)、光电集成器件、蓝光发光器件、光伏器件、高温紫外光敏器件及高温压力传感器等高技术领域应用前景广阔。

据悉,该项目的主要创新点为:从原料的合成阶段引入异质元素改性,制备出了耐超高温、低电阻率及高频发光特性的连续SiC(Al)自由薄膜,以及适合太阳能电池窗口材料的P型光伏薄膜。;将熔融纺膜与先驱体转化法相结合,制备出新型功能性连续SiC自由薄膜(厚度8~100微米、宽度20毫米、连续长度>100米)

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