炉体、PECVD炉体
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炉体、PECVD炉体
详细信息 福润德炉体可完全代替进口,优质加热炉丝,进口保温材料采用国外先进加工工艺,可长期在高温下处理12英寸以下硅片,工作温度200—1300℃,延长使用寿命2--3个月,外表温度比同行业降低30---50℃。
技术指标:
加热炉丝:瑞典康泰尔高温炉丝
保温材料:英国摩根进口保温层
使用温度:200℃—1300℃
外 壳:不锈钢板
控温段:3段、5段、
口 径:根据客户定制
恒温区:满足工艺要求
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